同茂造音圈電機(jī)在光刻機(jī)產(chǎn)品中已有應(yīng)用。在老美將我國(guó)華為、中芯等名企列入“實(shí)體名單”的大背景下，光刻機(jī)成為2020的核心關(guān)鍵詞之一。

　　而光刻機(jī)，確切地說是高層次的光刻機(jī)一直是我國(guó)的短板，因?yàn)檫@類光刻機(jī)的生產(chǎn)工序非常復(fù)雜，加工技藝也有著嚴(yán)苛要求，此外，其還擁有包括音圈電機(jī)在內(nèi)的一系列先進(jìn)零部件。

　　拋卻高層次的光刻機(jī)不說，其實(shí)我國(guó)在中低端光刻機(jī)方面已有成熟的經(jīng)驗(yàn)，其中在這方面擁有“話語(yǔ)權(quán)”的便是上海微電子，在此，順便重點(diǎn)說明一下，上海微電子是咱昆山同茂電子有限公司的戰(zhàn)略合作伙伴，同茂造高性能音圈電機(jī)在上海微電子的光刻機(jī)產(chǎn)品中被大力運(yùn)用。

　　那音圈電機(jī)在光刻機(jī)中主要扮演什么角色呢？音圈電機(jī)主要用在光刻機(jī)掩模臺(tái)系統(tǒng)中，音圈電機(jī)運(yùn)動(dòng)工況分為掃描運(yùn)動(dòng)和定位運(yùn)動(dòng)，其中掃描運(yùn)動(dòng)主要完成硅片曝光處理，該運(yùn)動(dòng)對(duì)定位精度以及速度穩(wěn)定性有很高要求，在穩(wěn)定基礎(chǔ)上追求時(shí)間的優(yōu)化。

　　未來，昆山同茂電子有限公司將繼續(xù)致力于光刻機(jī)用音圈電機(jī)的研發(fā)、生產(chǎn)，為中國(guó)光刻機(jī)的突破，擺脫外國(guó)“卡脖子”的命運(yùn)貢獻(xiàn)一份力量。

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